10.3969/j.issn.1671-7449.2006.05.006
CCD激光自准直旋转靶标轴系跳动测量系统
在检测光电测量设备的跟踪和测量精度时,动态旋转靶标能够给出空间角度的真值,而靶标轴系的跳动是影响靶标测量精度的重要因素.本文提出用 CCD 激光自准直非接触测量系统测量动态靶标轴系跳动的新方法.用面阵 CCD 采集靶标轴系跳动的视频信号,计算机对视频信号进行处理得到脱靶量数据,由此即可算出靶标轴系跳动量.实验结果表明:当靶标旋转轴以10°/s 速度旋转时,方位最大跳动量为4.80″,高低最大跳动量为3.98″,靶标轴系的旋转精度能够满足要求.
CCD、激光自准直系统、动态靶标、跳动量、误差、图像处理
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TN386.5(半导体技术)
2006-10-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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