透射式外差椭偏测量及非线性误差分析

摘要：

结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.给出了光学系统设计和理论分析,使用两个声光调制器产生20 kHz的差频,直接比较平行分量和垂直分量外差信号的幅值和相位,得到所需要的椭偏参数.光束偏振态的椭圆化及偏振分光不完全所引起的非线性误差是影响纳米薄膜测量精度的主要因素,推导出椭偏参数非线性误差的近似解析表达式,计算结果表明由此导致的膜厚测量误差可达几个nm,相对而言,激光器和反射镜等器件产生的光束椭偏化是其主要原因.

关键词：椭偏测量术、外差干涉、非线性误差、薄膜测量、声光调制器

所属期刊栏目：19

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA311190;The Optoelectronic Unite Science Research Center of TianJin013184011

在线出版日期：2005-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：245-248