基于波长移相干涉的台阶测量技术

摘要：

概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Carre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题,针对时频域算法特点,提出了基于时域傅立叶变换的差分算法.实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性.

关键词：干涉技术、波长移相、台阶测量、时域处理算法、频域处理算法

所属期刊栏目：19

分类号：TN206(光电子技术、激光技术)

资助基金：上海市科委资助项目021411056

在线出版日期：2005-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：157-161