原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定

摘要：

利用微加工制造的微悬臂梁/探针尖已经广泛应用在微观表面性质测试和微纳米尺度加工等领域,成为微纳米研究领域中不可缺少的重要工具.为了能够定量研究原子力显微镜中探针与表面的相互作用力,需要对微悬臂梁/探针的力学性能进行表征.本文简要地论述了原子力显微镜中微悬臂梁的形变光反射原理和探针与表面的接触刚度理论,阐明了微悬臂梁横向力标定的重要性,综述了目前几种微悬臂梁/探针横向力的标定方法、简单的推倒过程和特点.

关键词：微悬臂梁、横向力、标定、原子力显微镜、微机电系统

所属期刊栏目：19

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033101;国家高技术研究发展计划863计划2004AA404045

在线出版日期：2005-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：4-10