10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z3.004
微机械三维加速度传感器结构及原理分析
体积小、频响宽、造价低的微机械三维加速度传感器能够适应一些领域三维加速度测试的需要,并已开展了广泛的研究.本文综合国内外研究情况,介绍了几种微机械三维加速度传感器的结构,包括单质量块-弹性梁结构、双质量块六梁结构、四质量块结构、梳齿式结构,并对每种结构传感器的工作原理进行了分析.
三维加速度传感器、微机械系统、体加工、微结构
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TP2(自动化技术及设备)
2005-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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