微小差分电容检测技术的研究

摘要：

在 MEMS 电容式加速度传感器的测试中, 由于受单放大器开环增益有限的影响, 提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的. 针对这种情况, 本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理, 实验结果表明, 电路可检测的最小差分电容可达到5 aF(5×10-18F).

关键词：加速度计、微机械、组合放大器

所属期刊栏目：18

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：203-207