双晶片热致动微型镜的结构设计

摘要：

本文通过分析几种常用的致动器及双晶片热致动器的结构弯曲特性,设计出一种双晶片热致动微型镜器件的结构,并指出该器件的适应范围和特点.

关键词：双晶片、致动器、微型镜、结构

所属期刊栏目：16

分类号：TM93

资助基金：高等学校全国优秀博士学位论文作者专项基金200228

在线出版日期：2005-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1003-1008