10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z2.038
MEMS测试系统的研究现状与面临的挑战
高性能的测试系统对MEMS的研究和开发具有重大的现实意义.本文结合MEMS共性特性的测试需求,通过讨论部分典型的MEMS测试系统,阐述了MEMS测试系统的研究现状,分析了构建MEMS测试系统所需的若干关键技术,提出了目前MEMS测试领域面临的一些主要挑战.
MEMS、测试系统、可靠性、现状、展望
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TM93
2005-12-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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