一种新型RF MEMS开关的设计

摘要：

本文给出了一种新型RFMEMS开关的设计,采用膜桥结构,在打折梁的下面带有移动的介质膜,由静电驱动打折梁,这样的结构具有开关响应时间短、能耗低和易集成等特点.利用Intellisuite软件,重点研究了不同形式打折梁、不同膜厚等主要结构参数对器件性能的影响,给出了相应的优化措施和解决方案.

关键词：RF开关、MEMS、模拟、Intellisuite

所属期刊栏目：16

分类号：TM93

资助基金：科技部科研项目G1999033109

在线出版日期：2005-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：953-957