提高微型气体传感器可靠性的有效方法-解决氧化锡敏感膜龟裂问题

摘要：

本文报导了一种解决氧化锡气体敏感膜龟裂问题的有效方法.实验中发现,溅射形成的氧化锡薄膜在高温处理后或在长时间的高温工作中会发生龟裂,对器件的稳定性和可靠性带来很大影响.我们用两种方法解决了这个问题.一个是用磷硅玻璃(PSG)回流对氧化锡衬底的粗糙表面进行平坦化处理,另一个是把氧化锡薄膜图形设计成许多细长条状,以释放高温引起的应力变化.这种技术也适用于其它薄膜产生的微裂问题.

关键词：微机械、气体传感器、稳定性、SnO2、龟裂

所属期刊栏目：16

分类号：TM93

在线出版日期：2005-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：947-952