基于二维朗奇光栅的表面形貌测量

摘要：

本文提出一种采用二维朗奇光栅测量物体表面三维形貌的方法及装置,用一块二维朗奇光栅可同时获取被测表面在两正交方向上的梯度信息,从而仅需一张朗奇光强图便可重构出被测表面的形貌.文章介绍了方法的原理及二维朗奇光栅的结构设计,并用本方法研制的仪器进行了静止的和缓变的表面形貌的测量,取得了良好的测量结果.

关键词：朗奇检验、二维朗奇光栅、表面形貌测量、缓变表面测量

所属期刊栏目：16

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：445-450