几种高温高频压力传感器的研制与开发

摘要：

本文介绍了几种在高温工况下使用的动态压力传感器的设计、研制与开发,它们都是采用基于MEMS技术的SOI技术制作的,低至零频,高至数百赫兹的宽的动态频响使它们在兵工测试领域有着良好的应用前景,可望解决一些传统传感器难以解决的问题.

关键词：高温压力传感器、动态频响、MEMS技术、SOI技术、齐平封装

所属期刊栏目：16

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：413-416