一种大过载集成加速度计的设计

摘要：

本文介绍了一种新型的高过载弹道修正加速度计.这种加速度计由微机械工艺加工的硅微传感器和专用集成电路组成.其中专用集成电路包括温度补偿、滤波、电压/频率转换、电平调节和输入输出接口.硅微传感器的核心是一个悬浮的硅质量块,被四根悬臂梁支撑在硅架中.由于压阻效应,当硅质量块运动时,悬臂梁的电阻值将随之改变.敏感头放于硅基底和覆盖层之间的空腔中,使传感器能够抗高过载.

关键词：加速度计、压敏电阻、温度补偿

所属期刊栏目：16

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：407-412