热激励硅谐振式微结构压力传感器若干关键参数设计

摘要：

针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁为二次谐振敏感元件的热激励硅微结构压力传感器的实际结构,分析了其工作机理和产生热特性的机制.给出了考虑热特性情况时的传感器的被测压力与输出频率的特性方程;给出了传感器稳定可靠工作的条件;给出了梁谐振子的几何结构参数和激励、拾振电阻几何参数选择与位置设置的原则.

关键词：热激励、谐振式传感器、压力传感器、硅微结构、参数设计

所属期刊栏目：16

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：351-356