基于线阵 CCD 的全息光栅位移传感器

摘要：

目的提出了一种新型的基于全息光栅的 CCD 位移传感器. 方法利用 CCD 分辨率高, 像素均匀等特点, 对干涉条纹的移动进行精确定位, 利用全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响\, 适用光谱范围宽等特点, 实现位移的自动精确测量. 结果系统能够对位移实现自动精确测量. 结论该系统具有一定的实用价值及应用前景.

关键词：线阵 CCD、全息光栅、位移传感器、精度

所属期刊栏目：16

分类号：TN386.5;O438(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：167-170