微型流量传感器研究

摘要：

目的　研究微型管道的流量测量技术. 方法　采用热膜技术, 在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜, 利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状, 形成 4 个独立的铂电阻, 并构成一基本的电桥, 电桥通以一定的电流后产生热量, 由于液体流动的作用会使 4 个铂电阻间产生一定的温差, 从而导致电桥失衡, 产生一定的输出电势. 结果　研制出的流量传感器的各项技术指标满足设计要求. 结论　微型流量传感器与传统的传感器相比, 在性能上有了较大的提高, 并且具有对管道中液体压力损失小的特点.

关键词：热膜、流量、传感器

所属期刊栏目：14

分类号：TH814

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28