基于范德华异质结的多功能场效应晶体管制备及性能研究

摘要：

二维材料范德华异质结的研究推动了新型电子器件的发展.最近基于此类材料的电子器件时有报道,但鲜见同时具备逻辑运算和数据存储功能的电子设备.该研究采用机械剥离等方法,设计和制作了一种基于石墨烯/六方氮化硼/二硫化钼范德华异质结的多功能半浮栅场效应晶体管.研究发现,在单个器件构型中同时成功地实现了场效应管、半浮栅场效应管和二极管功能.而且电学测试结果进一步表明:作为经典的晶体管,它可以用于逻辑运算;作为半浮栅场效应管可用于非易失性存储器,而且保留时间可达 10 年以上,且其开/关比可达 103;作为二极管用于整流,其整流比可达103.因此,本工作制备的多功能半浮栅场效应管有望在逻辑运算、数据储存和整流器开关等方面得到广泛应用.

关键词：异质结构、半浮栅、多功能、非易失性存储器、二极管

所属期刊栏目：45

分类号：TN386(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家级大学生创新创业训练计划项目

在线出版日期：2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：766-773