退火Ar流速对VO2薄膜热致变色光学性能的影响研究

摘要：

本工作采用溶胶-凝胶法,以石英玻璃为衬底,乙酰丙酮氧钒(VO(acac)2)为钒源,高纯Ar为保护气体,在真空管式炉中以不同流速的Ar气氛下进行退火处理,制备出一系列具有不同热致变色性能的VO2薄膜.采用XRD、FE-SEM、XPS、紫外-可见-近红外光谱仪表征薄膜的结构、表面形貌、V元素的价态、热致变色光学性能.结果表明:随着Ar流速的上升,VO2薄膜的结晶质量持续下降,薄膜的近红外调节能力先上升后下降.当Ar流速为225 mL/min时,制备的VO2薄膜综合性能最优:近红外调控效率(ΔTIR)达到2O.2％,可见光透过率(Tlum)为55.5％.

关键词：VO2薄膜、Ar流速、ΔTIR、Tlum、智能窗涂层

所属期刊栏目：44

分类号：O614.51+1;TB381(无机化学)

在线出版日期：2022-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：721-726