LCOS芯片相位调制特性的研究

摘要：

相位调制曲线是LCOS(硅基液晶)芯片研发测试环节中的一个非常重要的参数,它对芯片隔离度、衍射效率、相位抖动等相关测试有非常关键的作用,测试LCOS芯片的相位调制特性至关重要.本文中提出一种用1/4波片法测量LCOS芯片相位调制特性的全新方法每加载一次灰度图就调节检偏器的角度,使经LCOS芯片调制后的光透过检偏器后光强达到最小,记录每次检偏器调节的角度可以计算出LCOS芯片的相位调制深度,并得到相位调制曲线,实验测试相位深度为2.9533π,相位调制曲线的线性度为0.9998.该实验开创一种新的相位调制特性测量方法,对更好地使用液晶空间光调制器有重要意义.

关键词：硅基液晶、相位调制、1/4波片、检偏器、相位曲线

所属期刊栏目：44

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家科技支撑计划2019YFB1803500

在线出版日期：2022-07-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：461-465