柔性PZT外延薄膜制备及其电学性能研究

摘要：

采用脉冲激光沉积技术在柔性云母衬底上制备高质量的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)外延薄膜.引入NiFe2O4作为外延生长种子层,实现PZT薄膜的(111)取向外延生长.电学性能测试显示其具有优异的铁电压电性能,在未弯曲时,剩余极化(2Pr)值和压电系数(d33)分别为55.μC/cm2和87 pm/V.柔性PZT存储单元在弯曲、变温等条件下的铁电保持、疲劳性能测试显示其具有可靠稳定的信息存储功能.该结果表明柔性PZT薄膜在可穿戴电子器件领域具有重要的应用前景.

关键词：柔性、PZT薄膜、电学性能、稳定性

所属期刊栏目：41

分类号：TB303(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金51472078;铁电压电材料与器件湖北省重点实验室开放课题基金201706

在线出版日期：2019-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：277-281