10.3969/j.issn.1000-2375.2019.03.011
柔性PZT外延薄膜制备及其电学性能研究
采用脉冲激光沉积技术在柔性云母衬底上制备高质量的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)外延薄膜.引入NiFe2O4作为外延生长种子层,实现PZT薄膜的(111)取向外延生长.电学性能测试显示其具有优异的铁电压电性能,在未弯曲时,剩余极化(2Pr)值和压电系数(d33)分别为55.μC/cm2和87 pm/V.柔性PZT存储单元在弯曲、变温等条件下的铁电保持、疲劳性能测试显示其具有可靠稳定的信息存储功能.该结果表明柔性PZT薄膜在可穿戴电子器件领域具有重要的应用前景.
柔性、PZT薄膜、电学性能、稳定性
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TB303(工程材料学)
国家自然科学基金51472078;铁电压电材料与器件湖北省重点实验室开放课题基金201706
2019-07-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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277-281