应变对铁酸铋外延薄膜结构和压电性能的调控

摘要：

在掺铌钛酸锶单晶衬底上,用脉冲激光沉积法制备不同厚度的铁酸铋外延薄膜,获得不同应变状态的铁酸铋薄膜,研究应变对薄膜结构和压电性能的影响.X线衍射结果显示铁酸铋薄膜沿衬底外延生长,并且随着厚度的增加,晶格弛豫,面外应变由2.778％减小到2.045％,铁酸铋薄膜也从完全应变过渡到应变部分释放.压电力显微镜测试显示,不同应变状态的铁酸铋薄膜都具有良好的压电响应,压电系数d33随应变的减小也相应地由259 pm/V减小到136 pm/V.

关键词：铁酸铋、应变、结构、压电系数

所属期刊栏目：40

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2018-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：86-90,102