基于无衍射光莫尔条纹的微小位移测量分析

摘要：

利用He-Ne激光器发出的激光经准直扩束镜后通过轴锥镜,形成径向光强分布呈零阶贝塞尔函数形式的无衍射光,该无衍射光方向性好,在通过反射与折射时不易产生能量损失.然后,通过多次分光与反射得到两束无衍射光,并产生干涉形成莫尔条纹.最后,根据莫尔条纹产生的数目和中心点的位置变化得出位移量,建立莫尔条纹数量变化与微小位移间的数学模型,分析判断工作台产生的偏摆角、滚转角以及俯仰角的误差,并通过ZEMAX软件仿真验证该数学模型的正确性,实现高精度的微小位移测量.

关键词：无衍射光、莫尔条纹、ZEMAX软件仿真、微小位移测量

所属期刊栏目：39

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金51405143,51575164,61475044;湖北省大学生创新创业项目20151050023;湖北省太阳能高效利用开放基金HBSKFZD2014007

在线出版日期：2018-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：585-590,596