Ag纳米颗粒修饰TiO2阵列薄膜的制备及其气敏性能研究

摘要：

以钛酸丁酯为钛源,用水热法在透明导电衬底FTO上制备金红石相TiO2纳米阵列薄膜,以AgNO3为银源,用化学还原法制备尺寸可控的金属Ag纳米颗粒,将所制备的金属Ag颗粒修饰TiO2纳米阵列薄膜.研究Ag纳米颗粒的表面修饰对TiO2纳米阵列薄膜气敏性能的影响.实验结果表明,室温下,18 nm金属Ag纳米颗粒修饰后的薄膜对氢气的灵敏度增加,响应和恢复时间减小,气敏性能明显优越于修饰前的薄膜.

关键词：Ag纳米颗粒、TiO2阵列薄膜、氢气气敏性能

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分类号：TN304.9(半导体技术)

资助基金：教育部科学技术研究重点项目211108;武汉市科技攻关项目201110821251;湖北省科技厅研究与开发计划2011BAB032

在线出版日期：2014-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：158-161,165