室温下 Ba0．67Sr0．33TiO3薄膜的射频磁控溅射法制备及其电学性能研究

摘要：

采用磁控溅射技术在室温下制备Ba0．67 Sr0．33 TiO3薄膜，通过引入 LaNiO3作为缓冲层以及对退火工艺的研究，采用两步法快速退火工艺与常规退火工艺结合的方式获得了致密并具有良好电学性能的钛酸锶钡薄膜．X线衍射分析表明室温情况下获得的薄膜是非晶态，需要通过后续的退火处理才能获得晶化的薄膜，采用快速退火与常规退火相结合工艺，即以40℃/s的升温速率，先升温到850℃，再降温到450℃保温180 s ，然后再在500℃常规退火3 h ，可使室温下溅射的呈非晶态的BST薄膜晶化形成具有完全钙钛矿结构的BST 薄膜，薄膜致密，晶粒大小均匀．室温下所制备的BST薄膜在100 Hz时的介电常数约为300，介电损耗约为0．03，具有铁电性．

关键词：射频磁控溅射、钛酸锶钡薄膜、室温沉积

分类号：TB324.1(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金云南联合基金u0837605

在线出版日期：2013-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：332-335