BST铁电厚膜的丝网印刷制备工艺研究

摘要：

对丝网印刷制备BST铁电厚膜工艺中的粉体合成、浆料配置、烧结条件等进行了研究,采用X射线衍射、透射电镜和扫描电子显微镜及配套的能谱仪对制备的BST粉体与厚膜样品的微观结构、成分进行测试分析.结果表明,在氧化铝衬底上一次印刷湿膜,经1 230～1 260℃烧结0.5 h后可获得单相钙钛矿结构,平均晶粒尺寸可达0.5μm且厚度约为10μm的BST铁电厚膜.

关键词：BST、铁电厚膜、丝网印刷

所属期刊栏目：33

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金项目50762022

在线出版日期：2011-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：94-97