10.3969/j.issn.1000-2375.2006.01.012
溶胶-凝胶法制备Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的微结构及介电性能研究
使用部分醋酸盐为原料,用改进的溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3, BST)薄膜. 场发射扫描电镜(FESEM)分析发现,薄膜均匀致密,表面无空洞、无开裂,晶粒尺寸约为50 nm. 用原子力显微镜(AFM)测量薄膜表面的方均根粗糙度为7.8 nm. 用透射电镜(TEM)观察薄膜的断面结构,用阻抗分析仪测试了薄膜的介电性能,其介电常数和介电损耗分别为460和4 %(1 kHz).
钛酸锶钡薄膜、溶胶-凝胶法、微结构、介电性能
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TN304(半导体技术)
中国科学院资助项目5637201/E0204;湖北省自然科学基金2003ABA06
2006-04-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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