溶胶-凝胶法制备Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的微结构及介电性能研究

摘要：

使用部分醋酸盐为原料,用改进的溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3, BST)薄膜. 场发射扫描电镜(FESEM)分析发现,薄膜均匀致密,表面无空洞、无开裂,晶粒尺寸约为50 nm. 用原子力显微镜(AFM)测量薄膜表面的方均根粗糙度为7.8 nm. 用透射电镜(TEM)观察薄膜的断面结构,用阻抗分析仪测试了薄膜的介电性能,其介电常数和介电损耗分别为460和4 %(1 kHz).

关键词：钛酸锶钡薄膜、溶胶-凝胶法、微结构、介电性能

所属期刊栏目：28

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：中国科学院资助项目5637201/E0204;湖北省自然科学基金2003ABA06

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：42-44