10.3969/j.issn.1000-2375.2003.03.008
电极材料对BST薄膜介电性能的影响
BST薄膜是微电子器件领域很有吸引力的介质材料.就BST薄膜研究中电极材料选择这一焦点问题进行综述,包括电极材料的种类,电极对薄膜微观结构、介电参数及稳定性等方面的影响,分析与电极相关的薄膜缺陷和可靠性现象,并对未来的发展作简要的描述.
BST薄膜、电极材料、介电性能、氧空位、可靠性
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TN304.055(半导体技术)
湖北省自然科学基金2001Z01007
2004-02-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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