10.3969/j.issn.1000-2375.2003.02.008
外延ZnO压电薄膜的声表面波特性分析
采用RF平面磁控溅射技术在单晶Al2O3衬底上淀积了ZnO薄膜.研究了ZnO薄膜的结构特性及电学性能,XRD结果表明:在Al2O3衬底上沉积的ZnO薄膜是高度c轴取向的.电阻率测试结果表明:在纯氧中高温退火,薄膜的电阻率提高到107Ω*cm量级.对于ZnO/Al2O3结构的SAW器件,随着ZnO薄膜厚度的减小,其机电耦合系数降低,但声表面波速率增加.
磁控溅射、氧化锌薄膜、声表面波、结构特性
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TN304.055(半导体技术)
湖北省武汉市青年科技晨光计划20015005032
2004-02-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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