微电子工业中脉冲激光焊接技术及其应用

摘要：

针对当前微电子工业中应用的脉冲激光焊,首先介绍了其机理和特点,并从激光束质量、脉冲宽度、脉冲能量、被焊材料性能等方面分析了它们对焊接质量的影响. 重点阐述了脉冲激光焊接技术在微电子工业集成电路制造中的应用和特点.

关键词：脉冲激光焊接、激光束质量、集成电路

所属期刊栏目：31

分类号：TG456.7(焊接、金属切割及金属粘接)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：3-5