PEN衬底氧化镓基柔性紫外探测器的制备与性能研究(特邀)

摘要：

针对传统硬性衬底无法弯折的问题,采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)衬底制备柔性紫外光电探测器.柔性衬底具有的抗曲折性,能够提升探测器的鲁棒性,并且能让其适用于各种复杂形态的应用场景,同时减少占用空间,有助于整个电路的集成化.实验使用磁控溅射镀膜工艺首先在PEN衬底上生长氧化镓薄膜,并在氧化镓薄膜上生长氧化铟锡电极,在室温下成功制备柔性氧化镓紫外光电探测器,器件响应波长处于小于280 nm的深紫外区.将器件弯折20 000次后其暗电流无显著变化,光电流增大,保持了良好的紫外光探测性能,探测器上升时间和衰减时间分别为0.24 s/0.74 s和0.10 s/0.71 s,其电流-时间特性曲线呈现周期性稳定,表明即使经过多次弯折,柔性氧化镓紫外探测器仍然具有良好的光电探测性能.

关键词：半导体光电探测器、柔性紫外探测器、射频磁控溅射、氧化镓、聚萘二甲酸乙二醇酯、氧化铟锡

所属期刊栏目：53

分类号：TN23;TQ132.41(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2024-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：51-59