硅微透镜阵列与红外焦平面阵列的集成器件的制备与性能(特邀)

摘要：

为了提高红外焦平面阵列性能,分别制备了硅衍射微透镜阵列和InSb红外焦平面阵列并将两者集成在一起.采用光学系统和焦平面测试系统进行了测试.结果显示双面镀制有增透膜的硅衍射微透镜阵列的衍射效率为83.6%;电压响应图显示器件没有裂纹;集成器件的工作波段为3.7～4.8 μm,此时平均黑体响应率和探测率分别为4.85×107 V/W和7.12×109 cm·Hz1/2·W-1.结果表明硅微透镜阵列不仅可以提高焦平面阵列占空因子,而且可以通过优化焦平面应力匹配来解决芯片裂纹问题,集成器件性能优于现有焦平面性能.

关键词：集成、红外焦平面阵列、硅微透镜阵列、占空因子、芯片裂纹

所属期刊栏目：53

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2024-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：44-50