基于石英MEMS技术的光纤法布里-珀罗高温压力传感器

摘要：

提出并实验验证了一种全石英光纤法布里-珀罗高温动态压力传感器,利用MEMS技术及三层石英玻璃高温热压键合技术实现了传感器敏感单元的批量化制造.为了减小传感器的温度系数,将敏感单元、中空石英管及镀金光纤通过CO2激光熔接技术进行熔接,从而实现全石英结构光纤压力传感器的制作.对制作的传感器进行了高温静压及常温动压测试,高温静压实验结果表明传感器能在800℃,1 MPa温压环境下正常工作,且传感器表现出了良好的高温稳定性及超低温度系数(0.069 nm/℃).常温动压测试结果表明传感器能实现2 kHz的动态压力测量.由于该种传感器具有全石英无胶粘结构,可批量化制造敏感单元以及超低温度系数的优点,使得该种全石英光纤法布里-珀罗动态压力传感器在高温环境下的动态压力测量领域具有潜在的应用潜力.

关键词：光纤传感器、法布里-珀罗、干涉、石英、压力测量

所属期刊栏目：51

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2022-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：204-213