单压电执行器阵列驱动的变形镜的制备与表征

摘要：

为降低压电执行器阵列式变形镜的成本,提出了一种由单压电执行器阵列驱动的低成本变形镜.制备了 19单元50 mm 口径的变形镜样机,建立了基于Shack-Hartmann传感器的 自适应光学测试系统,并对单个执行器性能、校正性能、镜面校平性能、变形镜频率响应特性进行了表征.测试结果显示,制备的变形镜单个执行器在50 V电压下波前变形量可达10 μm,可精确重构前14项Zernike多项式像差,校平后远场光斑接近艾里斑,变形镜一阶固有频率约为1.8 kHz.提出的单压电执行器阵列驱动的变形镜具有比较好的性能,在低成本自适应光学系统中具有应用前景.

关键词：变形镜、单压电执行器、自适应光学、波前像差、像差校正

所属期刊栏目：51

分类号：TN384;O438(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;工业控制技术国家重点实验室开放课题;浙江省省属高校基本科研业务费专项

在线出版日期：2022-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：340-347