衬底温度对电子束沉积ZnSe薄膜性能影响研究

摘要：

为了研究衬底温度对硒化锌薄膜微观结构和光学特性的影响,采用电子束蒸发技术在K9玻璃基底上制备了单层的硒化锌薄膜.通过研究薄膜的X射线衍射谱、透射光谱特性、表面形貌及粗糙度,分析了不同衬底温度下薄膜微观晶体结构和光学特性的变化规律.实验结果表明:在20～200℃的衬底温度范围内制备的ZnSe薄膜均为具有(111)晶面择优取向的纳米晶薄膜,随着衬底温度升高,基片上原子获得的动能增加,导致薄膜的晶粒尺寸变大、内应力和位错密度降低;同样在不同衬底温度下,薄膜的光学特性也不尽相同,随着衬底温度的升高,折射率和消光系数减小、光学带隙增加、薄膜的表面粗糙度降低.分析表明折射率下降是薄膜中空隙部分所占比例增加所致,而消光系数的下降是薄膜结晶度提高,内部缺陷减少造成的.

关键词：ZnSe薄膜、衬底温度、电子束蒸发、微观结构、光学特性

所属期刊栏目：50

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划;吉林省教育厅十三五科学技术项目

在线出版日期：2021-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：209-216