基于光丝效应的飞秒激光单次高质量直接切割薄石英玻璃工艺研究(特邀)

摘要：

提出了一种基于光丝效应的利用高重频飞秒激光结合高速扫描振镜对200μm石英玻璃进行单次直接切割的方法.优化加工工艺参数,实现了薄石英玻璃的快速高质量切割,加工速度可以达到10 mm/s,崩边小于7.5μm,断面粗糙度小于1μm.该方法实现了薄玻璃切割效率和质量的同步提升,在激光加工领域有较好的应用前景.

关键词：激光光学、激光成丝、飞秒激光、石英玻璃、玻璃切割

所属期刊栏目：50

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划No.2017YFB1104602

在线出版日期：2021-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

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