聚碳酸酯高强度超低反射率薄膜的研制

摘要：

为了降低杂散光导致光学系统成像质量下降的问题,以聚碳酸酯为基板,采用电子束离子辅助的方法制备了可见光波段超低减反射膜.采用真空退火法降低了由于镀膜过程中基板温度升高导致的热拉应力,并使用MATLAB软件拟合分析了材料的应力,通过研究离子源沉积工艺,解决了膜裂的问题.通过MATLAB模拟调节比例-积分-微分控制器控制参数,稳定了成膜速率,解决了厚度误差导致光谱漂移的问题.测试结果表明:该膜层在430～700 nm,绝对反射率小于0.15％.

关键词：光学薄膜、减反射膜、离子源沉积、应力、塑料

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：十三五装备预研基金No.414xxxx0202

在线出版日期：2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：216-225