基于浸没式光刻光束稳定系统的反射镜

摘要：

根据浸没式光刻系统的技术要求, 设计了光束稳定系统, 通过两个反射镜消除光束的位置漂移和指向漂移.基于深紫外材料特性, 选择JGS1作为反射镜的基底, Al2O3和MgF2为高、低折射率薄膜材料.通过膜系设计软件完成了高反射膜的设计和模拟分析, 并采用真空沉积技术研制了该薄膜.通过选择行星夹具镀膜设备和设计特定的补偿挡板来保证薄膜的非均匀性小于0.2％.测试了反射镜样片的光谱曲线和表面微观结构, 结果表明研制的薄膜在45°入射时的反射率为98.5％, 散射损耗为0.30％, 满足系统使用要求.

关键词：光学薄膜、光束稳定系统、非均匀性、吸收损耗、散射损耗

所属期刊栏目：48

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金青年基金61703056;吉林省教育厅科学研究项目JJKH20181363KJ;吉林省科技厅自然科学基金20160101250JC;吉林工程技术师范学院博士科研启动基金BSKJ201826

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：40-49