基于光纤光栅传感的化学镀膜过程本征应力监测

摘要：

为了研究化学镀膜过程中本征应力的演变过程,建立了基于光纤光栅传感的本征应力计算模型,提出了一种监测化学镀膜过程本征应力演变的方法.通过记录光纤光栅中心波长的偏移量,结合裸光栅进行补偿,实现了在线监测化学镀膜过程产生的本征应力.使用光纤光栅传感器对化学镀Cu过程中本征应力进行监测.结果表明:在化学镀Cu过程中,光纤光栅中心波长蓝移,本征应力表现为压应力,且本征应力随时间的增加而增大;监测光栅的压力灵敏度为4.10 pm/MPa,监测准确度可达到0.24 Mpa.

关键词：应用光学、应力演变监测方法、在线监测、本征应力、光纤光栅

所属期刊栏目：45

分类号：TQ591;TP212.1

资助基金：国家自然科学基金No.51265035和江西省自然基金No.20151BAB206031资助;The National Natural Science Foundation of China No.51265035,the Nation Science Foundation of Jiangxi Province No.20151BAB206031

在线出版日期：2016-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：70-74