基于重力补偿的立式三平板绝对检测

摘要：

为了实现高精度平面面形绝对检测,对传统的立式三平板绝对检测方法进行了重力变形补偿.通过有限元软件仿真了平板在水平放置于工装上的重力变形,并将其加入到平面绝对标定的计算中.把平面标定分成旋转对称项和旋转非对称项分别标定后进行综合,并与旋转平移绝对检测方法的测量结果进行了对比,去除离焦项对比结果均方根小于1 nm.为了进一步验证离焦项的标定,对一平板在不同口径环形支撑下的形变量进行了检测和仿真,对比结果的峰谷值小于9nm,达到较高的离焦项测量精度.实验结果验证了基于重力变形补偿的立式三平板绝对检测方法能够实现立式下平面的高精度绝对检测.

关键词：光学检测、绝对检测、干涉术、重力变形、有限元方法、计算仿真

所属期刊栏目：44

分类号：O439;O435.2;O436.1(光学)

资助基金：National Science and Technology Major Project of China No.2009ZX02205

在线出版日期：2015-12-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：89-93