用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作

摘要：

介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明,该工艺可重复性高,复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90％,并能承受航空环境-55℃～70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求,信号响应准确率100％.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴.

关键词：光学位移传感器、编码光栅、复制技术、紫外光刻、全息光刻、光传操纵系统

所属期刊栏目：44

分类号：O436;TH162(光学)

资助基金：The Technology Innovation Fund for Aviation Industry Corporation of China No.2009D61864,the National Science Foundation for Young Scientists of China No.11105145

在线出版日期：2015-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：166-170