近红外宽截止窄带滤光膜的研制

摘要：

在空间光通信系统中,为满足光学系统对滤光膜的特殊要求,研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜,实现了降低深背景范围内杂散光干扰的要求.通过对薄膜材料特性的研究、膜系设计曲线的不断优化,得到了相对易于制备的窄带滤光膜结构;采用电子束加热蒸发及离子辅助沉积技术制备薄膜,采用光控加晶控同时监控的方法监控膜层厚度,通过不断优化工艺参量,提高中心波长处的透过率,最终成功得到了光谱性能较好的滤光膜.经光谱测试表明:所镀膜层在800～1 530 nm、1 600～1 800 nm波段平均透过率低于0.3％,1 565 nm单点透过率高于92％,通带半带宽为18 nm,满足光学系统的使用要求.

关键词：光学薄膜、窄带滤光膜、真空镀膜、离子辅助沉积、光学特性、膜系设计、膜厚监控

所属期刊栏目：43

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：红外技术预研项目5131xxxx103

在线出版日期：2014-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：68-72