BePP2沉积速率以及厚度对蓝光OLED性能的影响

摘要：

实验采用真空热蒸镀方法,在高准确度膜厚控制仪的监控下,制备了结构为ITO/2T-NATA(25 nm)/NPB(30 nm)/BePP2(X nm)/Alq3 (30 nm)/LiF(0.6 nm)/Al(80 nm)的蓝光器件,并对其发光层(BePP2)薄膜的沉积速率以及厚度对器件的亮度、发光效率影响进行了分析和实验研究.结果表明:当束源炉孔径为Φ1.5 mm,束源炉温度在120℃～150℃区域,BePP2的蒸镀速率比较平滑,斜率变化小,易于膜厚精准控制,且薄膜较致密满足器件需要;BePP2在最佳沉积速率为0.02 nm/s(蒸发温度为135℃),且发光层厚度为35 nm时,可获得启亮电压为5.34 V、发光亮度为9 100 cd/m2、发光效率达4.4 cd/A的较理想蓝光器件.

关键词：有机半导体、蓝光有机电致发光二极管、真空蒸镀、BePP2、沉积速率、厚度、发光亮度、空穴注入层、2T-NATA、器件性能

所属期刊栏目：43

分类号：TN383(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目61106043

在线出版日期：2014-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46