光电多功能检测仪光学系统设计

摘要：

设计了一种集激光光束质量分析、光电自准直、激光自准直和光轴一致性检测等多种检测功能为一体的多功能光电检测系统.系统工作波长范围为300～1 700 nm,准直准确度2”,角分辨力0.1”.设计了一种长焦距平行光扩束系统和三光轴系统,采用带有中心平面的、可移动的复曲面摄远物镜,物镜口径75 mm,扩展口径至400mm,使系统实现了光轴一致性、出射激光指向及多参量集成检测功能,集成化程度高.利用光学设计软件ZEMAX进行系统仿真和优化设计,在全视场内,不同波长所对应的各焦距位置50 lp/mm处MTF＞0.2.成功研制一台功能样机,并于加工装调后进行了测试试验,结果表明该仪器获取图像清晰准确,能够满足测试要求.

关键词：光学设计、光电多功能检测、复曲面设计、扩束系统、多光轴系统、摄远物镜、多重组态

所属期刊栏目：42

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：吉林省重大专项-科技发展计划项目新型光电子器件及应用技术项目20100610;吉林省科技发展计划.20080331,20090555;高功率半导体激光国家重点实验室科研基金91400310405

在线出版日期：2014-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1507-1513