基于PDMS的倒脊形波导电光调制器的设计与制备
选用价格低廉、介电性能良好、低传输损耗的聚二甲基硅氧烷作为波导的包层材料,旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯作为芯层,设计并制备了一种倒脊形聚合物波导马赫-曾德尔电光调制器及共面波导行波电极,获得了调制器的调制信号响应.针对SF6气体刻蚀聚二甲基硅氧烷的再淀积现象,提出了采用SF6和O2的混合气体对聚二甲基硅氧烷进行反应离子刻蚀的方法,发现当SF6:O2流量比为50sccm:10sccm时,刻蚀形成的凹槽侧壁陡直,底部平坦;实验制备的倒脊形马赫-曾德尔波导在1550 nm波长下通光良好.
聚二甲基硅氧烷、旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯、反应离子刻蚀、聚合物电光调制器
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TN256(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金61077041、60807029;吉林省科技发展计划项目20090352、20070522;吉林大学基本科研业务费专项资金项目200810028、200905005;集成光电子学国家重点联合实验室开放课题IOSKL-KFKT-11
2011-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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