催化剂对制备SiO2减反膜的影响

摘要：

以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3·H20和HC1为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明:通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜.

关键词：溶胶-凝胶、SiO2减反膜、催化剂、薄膜结构

所属期刊栏目：39

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家高技术产业计划项目发改办高技072490;河南省基础与前沿基础研究项目072300410310

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：72-74