皮米级分辨率测量及细分技术进程
综述了国内、外皮米分辨率测量的研究进展.介绍了高分辨率(皮米级)的测量方法和当前的发展,并对其原理及细分技术作了分析.针对典型测量方法的局限,阐述了另两种新颖的测量方法,并较深入地分析其优势及不足.着重分析了多次反射式光学干涉仪的测量方法,相对于X射线干涉仪,它具有更高的分辨率且其装置较简单,易于实现,在光谱学、高准确度测量等领域的应用前景较好.
光学测量、皮米分辨率、激光干涉仪、细分技术
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TH744(仪器、仪表)
国家科技重大专项2009ZX04012-061
2012-03-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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