离轴非球面反射镜补偿检验的计算机辅助装调技术研究

摘要：

利用零补偿器实施离轴非球面元件面形的干涉检测中,为了实现反射镜的高准确度检测,对其干涉结果中的误差信息进行了分析.根据零补偿器的补偿原理,提出一种新的调整误差分离方法,建立了离轴非球面补偿检验的调整误差分离模型,并利用该模型对一块离轴非球面反射镜进行了仿真实验.调整前由调整误差引入的波像差为0.2332λRMS(λ=632.8 nm),根据仿真结果调整后的波像差为0.0026λRMS,表明该方法具有较高的准确度,可有效提高检测效率.

关键词：非球面检测、补偿器、调整误差、计算机辅助装调

所属期刊栏目：39

分类号：O348.1(固体力学)

在线出版日期：2011-04-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2220-2223