波带板干涉法检测双曲面

摘要：

针对非球面高准确度检测的难题,设计了基于波带板干涉法的共光路干涉系统.阐述了干涉仪的测量原理,实验中针对曲率半径R=103.26 mm,口径D=40 mm的被测双曲面,设计并制作了波带板,编制了基于坐标变换的条纹中心法的干涉条纹处理程序,并将测量数据与泰勒-霍普森轮廓仪进行了比对,实验结果证明了该系统的可行性和先进性.

关键词：非球面检测、波带板、干涉

所属期刊栏目：39

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：陕西省教育厅专项科研计划08JK314;西安工业大学校长科研基金XAGDXJJ0991

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：723-727