离子注入结合离子交换技术制备KTiOPO4光波导特性研究

摘要：

用离子注入结合离子交换技术形成了 KTiOPO4 平面光波导,研究了离子注入对离子交换波导结构的影响.使用棱镜耦合法测量了波导特性,结果显示形成了表面折射率升高的多模波导,通过背散射技术研究了离子交换后的 Rb 离子分布.实验表明,注入离子导致样品晶格损伤,在 2.8 μm处对离子交换形成了阻挡层,阻止了交换向KTP晶体的更深处进行.

关键词：光波导、离子注入、离子交换、KTiOPO4晶体

所属期刊栏目：39

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金20070422078

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：653-657