一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究

摘要：

介绍了一种周期连续可调的微型可编程光栅.光栅采用静电梳齿驱动,不同驱动电压对应不同周期变化,从而引起特定级次衍射角发生变化.为了测得不同驱动电压下的衍射角变化,搭建了实验测量光学系统,利用激光三角法测量原理及图像处理的方法得出实验结果.测量结果与光栅测量参量计算角度变化基本一致,不同电压下的衍射角变化与不同的周期变化对应良好.

关键词：微机电系统、周期可调光栅、激光三角法、图像处理

所属期刊栏目：39

分类号：TP211+.6(自动化技术及设备)

资助基金：西北工业大学博士论文创新基金CX200611

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：618-621